资格预审公告
公告编号：DZXYGG202309270001
一、采购项目基本情况
采购项目 采购项目编号：DZCGXY202309270001 采购内容和范围：8A 2套 Producer机台L/L改造干泵购买 是否采用费率寻源：否二、申请人资格要求 资格: 1.资格要求：厂商具有4年以上8寸及以上量产半导体晶圆工厂销售业绩。 三、资格预审文件的获取 资格预审文件在发布，不再另行线下提供纸质文件，凡有意参与者可在本公告期间自行 四、资格预审申请文件的提交 资格预审申请文件提交截止时间：_ 2023-10-03 08:00:00 __（北京时间，若有变化另行通知）。 资格预审申请文件格式和内容：申请人应根据上述资格要求逐项提供证明资料（扫描件），并对提供的证明资料完整性和真实性负责。 资格预审申请文件提交方式：在资格预审申请文件提交截止时间前，通过提交电子资格预审申请文件，逾期提交将被拒收。若采购人要求线下提供纸质资格预审申请文件的，按相关要求提供。 资格预审审核结果将通过进行发布，请关注相关通知，资审通过的供应商请按通知要求进行后续操作。 五、采购人 六、其它事项 1. 2.本项目采购通过守正平台线上进行，供应商需注册，按需办理CA电子钥匙（用于需插CA锁报价的项目），通过平台进行响应文件的递交或报价，具体操作步骤可查阅网站首页帮助中心的操作手册，也可以联系守正客服。 3.答疑澄清、通知等文件一经在发布，视为已发放给相应供应商（发放时间即为发出时间），请随时关注发布的相关信息，并及时查阅和处理。
2.业绩要求：
A．自2020年至今，持续在8寸及以上量产半导体晶圆工厂内有销售安装实例的。（要求提供实际安装清单及证明材料）
90 m3/h 8寸及以上量产半导体工厂CVD Producer机台L/L腔近2年装机数量不小于30台。
3.技术要求：所供干泵产品技术满足此项目工艺及设备端的技术要求，详见RFQ。（如无法满足RFQ需求，则不考虑购买此供应商的干泵）
A.对于厂商所提供的干泵型号需要得到工厂模组的认可，如出现的新供应商或干泵新型号，模组要求Demo的，必须Demo认证合格后方可批量购买。
B．厂商提供干泵型号要能与工厂智能化生产系统（CMS）进行连线通讯，做到可实时监控到干泵运行状态。（功率，电流，温度，N2 Flow，Water Flow，Exhaust Pressure，running time等数据参数）
4.信誉要求：厂商相关责任人不属于在“信用中国”网站 或各级信用信息共享平台中查明的失信被执行人。
5.供货要求：所供干泵的交货期应满足CSMC的装机要求——2024年2月20日前，安装完成。