序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 蒸镀机及LIF腔 | 蒸镀机:1台;LIF腔:1台 | (1)OLED蒸镀设备,是用于生产OLED显示器的重要设备; (2)主要构成,真空区域:载入腔体*2、载出腔体*1;传送腔体*10;玻璃储存*9、旋回腔体*9、过渡腔体*9;等离子前处理室*4;有机蒸镀腔体*22;点源蒸镀腔体*9;掩膜板储存腔体*14; (3)有机腔QCM数量新增为4个,监控*3,监视*1。 | 0730-254010020003-14 |
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