序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 低温磁控溅射成膜机 | 1台 | (1)本装置用于G6 LTPS(OLED)制程,利用物理气相沉积工艺用于形成触摸屏金属层(PVD metal TP layer); (2)Half玻璃尺寸:1500±0.5mm(L) × 924.8±0.5 mm(W); (3)alf玻璃基板厚度:0.4t~0.7t。 | 0730-254010020003-37 |
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