招标公告

1. 招标条件

本招标项目二氧化硅淀积炉 该项目已具备招标条件，现对二氧化硅淀积炉进行国内公开招标。

2. 项目概况与招标范围

2.1 招标编号：ZKX20240429A045

2.2 招标项目名称：二氧化硅淀积炉。

2.3 数量：1台。

2.4 主要功能要求：本次购买的二氧化硅淀积炉常用于ONO结构中的SiO2介质层。其原理是在炉管内高温下（720℃-900℃），二氯硅烷(DCS)和笑气(N2O)进行反应生成SiO2薄膜。必须是8寸全新支持SMIF功能及EAP通讯的国产设备

2.5 交货

2.6 交货期：合同生效后6个月。

3. 投标人资格要求

3.1投标人须为具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。

3.2设备业绩要求：本次投标设备二氧化硅淀积炉须是八寸线的成熟设备，且具有成功应用案例，须提供至少一台2020年1月1日至今本次投标设备的带有技术协议或技术指标的销售合同及验收证明材料复印件，合同的内容需体现合同首页、设备名称、规格型号、制造商名称（必须是本次所投设备的制造商）、技术协议或主要技术指标、合同签订时间、甲乙双方签字或盖章等内容，还需提供业绩设备是使用于八寸线的证明材料，以及采购方
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来源：中国电力招标采购网
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编辑：dljcz