1、招标条件
项目概况:甬江实验室因发展需要，需采购化学机械抛光机（金属）设备、等离子体增强化学气相沉积设备、高深宽比磁控溅射设备各1套。
资金到位或资金来源落实情况:项目所需资金已经落实。
项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件。
2、招标内容
招标项目编号:0762-2441CBNB2001
招标项目名称:甬江实验室采购化学机械抛光机（金属）等设备项目
项目实施地点:中国浙江省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 化学机械抛光机（金属）设备 | 1套 | 将待抛光晶圆在一定的分区下压力及抛光液(由超细磨料颗粒、化学氧化剂和表面活性剂等液体介质组成的混合液)的作用下相对于一个抛光垫作旋转运动，借助磨粒的机械磨削及液体介质的腐蚀作用来选择性完成对晶圆表面金属材料（Ti、TiN、Ta、TaN、W、TiW、Cu等）去除，并获得光洁表面。 | |
| 2 | 等离子体增强化学气相沉积设备 | 1套 | 借助微波或射频使气体电离，局部形成等离子体，在较低的温度下沉积薄膜。用于沉积SiO2、SiNx、SiON、P-doped SiO2、Ge-doped SiO2、BPSG、FSG等薄膜。 | |
| 3 | 高深宽比磁控溅射设备 | 1套 | 使用磁控溅射方式用于深硅刻蚀后的硅通孔孔壁沉积阻挡层（Ti或Ta）及电镀种子层（Cu），防止金属与Si相互扩散的同时作为后续电镀孔内填充金属的导电层。 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:3.1.1投标人必须是投标产品的制造商或投标产品的制造商授权的代理商，如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书；
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2024-01-12
招标文件领购结束时间:2024-01-19
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：宁波中基国际招标有限公司（宁波鄞州区天童南路666号中基大厦19楼前台，联系人：李小姐，联系电话：0574-88090098,电子邮箱：719126619@qq.com）；或在线购买，购买地址链接：https://dwz.cn/BzVsB93Q(此链接仅限于人民币支付）
招标文件售价:￥500/$80
其他说明:售后不退(邮购须另加50元人民币[国内]或40美元[国外])。 特别提示：供应商付款后应及时将汇款底单直接传真或发邮件至我司前台标书发售人员，并在底单上注明需要购买标书的项目编号、联系人、手机号及邮箱，如未按此要求操作，供应商将有可能不能及时收到招标文件，请给予配合。
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2024-02-02 09:00
投标文件送达地点:甬江实验室(宁波市镇海区慈海南路1792号2号楼102会议室）。
开标地点:甬江实验室(宁波市镇海区慈海南路1792号2号楼102会议室）。
6、投标人在投标前应在必联网（https://www.ebnew.com）或机电产品招标投标电子交易平台（https://www.chinabidding.com）或中国国际招标网（http://chinabidding.mofcom.gov.cn）完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。
7、联系方式
招标人:甬江实验室
地址:宁波市镇海区慈海南路1792号
联系人:孙老师
联系方式:0574-86261579
招标代理机构:宁波中基国际招标有限公司
地址:宁波市鄞州区天童南路666号中基大厦19楼
联系人:陈冲、方巧飞
联系方式:0574-87425731、87425383、87425386（传真），chenchong821228@163.com 异议（质疑）联系人：陈俊0574-88099683
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):中国工商银行宁波鼓楼支行
招标代理机构开户银行(美元):中国工商银行宁波鼓楼支行
账号(人民币):3901110009200043078
账号(美元):3901110009814008126
其他:账号（日元）：3901110009827008737
账号（欧元）：3901110009838008695
银行地址：中国浙江省宁波市中山西路218号
开户名称：宁波中基国际招标有限公司
swift代码：ICBKCNBJNBO
行号（人民币）：102332011006
9、其他补充说明
其他补充说明:9.1投标人递交投标文件方式：现场递交方式或邮寄递交方式。
（1）采用邮寄方式递交投标文件，需按以下要求递交： 投标人须在2024年2月1日16：00前将投标文件邮寄至规定地点，由招标代理机构工作人员进行签收。各投标人自行考虑邮寄在途时间，邮寄过程中无论何种因素导致投标文件未按时递交的后果，均由投标人自行负责。投标文件递交时间以招标代理机构实际收到投标文件的时间为准。迟到的投标文件将被拒收。请各投标人确保密封包装在邮寄过程密封包装完好，因邮寄过程的密封破损造成不符合开标要求的，本招标代理机构概不负责。 投标文件邮寄地址为：宁波中基国际招标有限公司（宁波市鄞州区天童南路666号中基大厦19楼）。 收件人：陈冲 联系方式：13081928686