大连鑫邦项目管理有限公司受大连理工大学 委托，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对大连理工大学等离子体光学在线诊断设备采购项目进行其他招标，欢迎合格的供应商前来投标。
项目名称：大连理工大学等离子体光学在线诊断设备采购项目
项目编号：DUTASD-2022751
项目联系方式：
项目联系人： 张哲华
项目联系电话：0411-62636163
采购单位联系方式：
采购单位：大连理工大学
采购单位地址：辽宁省大连市高新园区凌工路2号
采购单位联系方式：李老师/孙老师；0411-84709969/6297
代理机构联系方式：
代理机构：大连鑫邦项目管理有限公司
代理机构联系人：张哲华0411-62636163
代理机构地址： 辽宁省大连市中山区常青街29号休斯顿公寓A座1001室
一、采购项目内容
拟采购的等离子体光学在线诊断设备1套，用于等离子体中活性物种及刻蚀前驱物种的种类及浓度的在线分析。拟采购产品能够实现等离子体发光的高时间分辨测量，可以清晰分辨射频周期内的电子激发动力学。光谱范围可以覆盖绝大部分的刻蚀前驱物种的发光谱线。
二、开标时间：2022年12月06日 09:30
三、其它补充事宜
1.拟定的唯一供应商名称及其地址：
供应商名称：东方闪光光电科技有限公司
供应商地址：北京市昌平区回龙观龙域中街1号院A座1010室
2.单一来源采购原因及相关说明：
大连理工大学物理学院拟开展半导体制造工艺中等离子体刻蚀过程中刻蚀前驱物浓度的演化规律。基于刻蚀前驱物种的发光与吸光特性，需采购等离子体光学在线诊断设备，以实现在线对等离子体中不同刻蚀工艺中活性物种（比如，氧原子、氟原子，氯原子等）的产生与损失机制，浓度的变化规律及与刻蚀机理的关联性。基于研究特点，要求设备满足指标为：光探测器的时间分辨率需低于5 ns，传感器阵列尺寸为1024×1024，全幅分辨率帧速需高于4fps。光栅光谱仪可探测的光谱范围不小于区间200nm~900nm。信号探测器带宽不低于1GHz，采样率不低于6Gs/s。拟建设的光学诊断系统的特点是纳秒级的时间分辨能力与信号同步功能，较高的像素分辨率，较高的光谱分辨率。另外为了跟踪等离子体放电的射频信号，对信号探测器的带宽及采样率具有较高的要求。经调研，能够将不同的光学部件进行有效集成，并同时满足上述指标的供应商，只有东方闪光光电科技有限公司。因此，只能采用单一来源方式采购。
3.本项目专门面向中小企业采购。
注：本项目采用腾讯会议软件，通过远程视频会议形式进行谈判。会议室ID将在开标前10分钟以电子邮件的方式发送至供应商预留邮箱。供应商代表（法人或授权委托人）在谈判期间保持手机畅通、在谈判时间5分钟前登录网络会议室，并保持全程在线。供应商需准备电脑、摄像头、麦克风和打印机，提前下载腾讯会议软件并熟悉操作流程。供应商代表加入会议时，姓名请填写“供应商名称-供应商代表姓名”。
四、预算金额：
预算金额：175.0000000 万元（人民币）
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